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Veritas鎢燈絲掃描電鏡系列

2020/07/28

Veritas鎢燈絲掃描電鏡系列

Veritas系列保持EM科特電子顯微鏡的高性能高效率,大樣品倉(cāng)內(nèi)含多功能電動(dòng)樣品臺(tái),可更輕松地測(cè)量大尺寸樣品。


EM科特Veritas系列產(chǎn)品技術(shù)亮點(diǎn):

l大尺寸樣品分析  Veritas系列可以分析常規(guī)SEM無(wú)法分析的大尺寸樣品。例如:晶圓,磁盤(pán)

l無(wú)損樣品分析   無(wú)需切割即可分析樣品。例如PCB,半導(dǎo)體圖案分析

l較重樣品分析   能夠分析較重的樣品。例如巖石,鐵礦石 


技術(shù)指標(biāo):

分辨率

2nm

放大倍數(shù)

x10-x300000

電子槍

LaB6/CeB6

探測(cè)器

二次電子探測(cè)器、背散射探測(cè)器

真空系統(tǒng)

全自動(dòng)真空系統(tǒng)(<90s)
渦輪分子泵
旋轉(zhuǎn)葉片泵
電動(dòng)閥系統(tǒng)

顯示模式

聚焦模式 預(yù)覽模式
慢掃模式 成像模式

自動(dòng)功能

聚焦
亮度/對(duì)比度
物鏡光闌搖擺對(duì)重
電子槍對(duì)重、偏壓、飽和


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